大日本スクリーン製造（株）（京都市上京区堀川通寺之内上ル4天神北町1-1、Tel.075-414-7111）は、半導体洗浄装置のトップメーカーとして最先端微細化分野で確固たる地位を築いている。2013年度はデバイスメーカー各社の設備投資需要の高まりに着実に対応するほか、新製品群の拡販にも注力する。専務執行役員で半導体機器カンパニー社長の須原忠浩氏に話を聞いた。

―― 12年度の事業概況と13年度の見通しを。
　須原　12年度の半導体機器事業は、売上高が前年比22％減の1310億円、営業損益が同約194億円悪化の営業赤字58億円だった。夏ごろまでは当初想定どおりに推移していたが、それ以降にメモリーや大手MPUロジックメーカーの投資が鈍化し、特に第3四半期に大きく売り上げが落ち込んだ。台湾大手をはじめとするファンドリーの需要は年間を通じて堅調で、12年度の業績を下支えした。
　13年度第1四半期は1～3月期並みの受注が続いており、好調なスタートを切った。

―― 枚葉式洗浄装置市場での地位を着実に固めていますね。
　須原　枚葉式洗浄装置の市場シェアは12年に4ポイント増加の55％となった。13年には60％超を見込んでいる。

―― 洗浄装置に続く柱となる新製品を育成中だ。
　須原　次世代パワーデバイスやMEMS、LEDなどをターゲットとした新製品を「フロンティア製品」と総称し、事業拡大を目指している。