電子デバイス産業新聞(旧半導体産業新聞)
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第28回

(株)クォークテクノロジー 代表取締役 中村 勝氏


「水銀レス光源」装置の販売好調
UV-LED高出力化でリソ工程開拓

2013/3/8

(株)クォークテクノロジー 代表取締役 中村 勝氏
 「水銀レス光源」を事業テーマに掲げ、紫外線照射装置を開発している(株)クォークテクノロジー(岡山県井原市木之子町167、Tel.0866-62-1367)。適用アプリケーションの拡大や光源技術の進化により、採用の機会をさらに広げている。直近の状況を中村勝社長に伺った。

―― 製品ラインアップについて。
 中村 産業用設備機器向けの紫外線照射装置を開発し、主に製造装置メーカーへ販売しており、表面改質やUV硬化、光CVDといった用途に採用されている。波長330~400nmまでのUV-A領域に「UV-LED」で、330nmのUV-B以降の領域に「エキシマランプ」で対応し、水銀レス光源を実現している。

―― LED光源装置は。
 中村 ピーク波長365/385/405nmに対応した小型装置や面照射装置、ワークに合わせてインラインで連結できる照射モジュールをラインアップしている。

―― 適用アプリは。
 中村 タッチパネルの貼り合わせ用途が急激に伸び、最もニーズが多い。4辺に照射装置を配置して端面を仮硬化させるケースが増加し、この後の本硬化(全面照射)工程も含めて引き合いが旺盛だ。

(聞き手・本紙編集部)
(以下、本紙2013年3月6日号7面)

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