サイマー（米カリフォルニア州サンディエゴ、日本法人＝東京都品川区大崎1-11-1、Tel.03-5475-3100）は、DUVやEUVといった半導体向け光源技術および関連技術、さらには液晶、有機EL向けのシリコン結晶化技術などを手がける。最近の事業活動や注目されるEUV光源への取り組みなどについて、副社長EUV戦略マーケティングのナイジェル・ファラー氏に話を聞いた。

―― 足元の業績は。
　ファラー　12年は第1～第3四半期までで4.31億ドルだった。通年では11年比横ばいで推移すると見ている。同期間の光源の出荷台数は、248nmが33台、193nmが56台だ。

―― 半導体向け主要製品の取り組みについて。
　ファラー　DUVおよびIBPの需要が高いが、当社は半導体メーカーに対して生産性向上や低コスト化に向けた付加価値を積極的に提供している。最先端プロセスでは、長期的にはEUVがトレンドになるのは間違いないが、短期的にはArFのダブルパターニング（DP）やトリプルパターニング（TP）の需要が高い。