フォトレジスト、各社一斉に増産投資
年率成長2桁台に迫る、メタルレジストが一躍注目
半導体リソグラフィー工程で重要材料となるフォトレジストの生産能力増強が相次いでいる。半導体市場の中長期的な成長確度が高まってきたことで、レジストメーカー各社に加え、樹脂や溶剤、感光材などを手がける原材料メーカーの増産投資も目立つ。また、ArFやEUVなどの先端プロセス向けレジストを、台湾や韓国などの海外で現地生産する動きも出てきた。2nm以降の次世代プロセスを巡っては、JSRのインプリア買収に代表されるように、メタル含有レジストに大きな注目が集まっている。
半導体市場の拡大に伴い、フォトレジスト市場規模は2021年に初めて2000億円を超える水準になると予想されている（本紙調べ）。先端プロセス向けのArFやEUVに加えて、レガシー半導体の旺盛な需要を受けて、i線やKrF市場も好調に推移している。
（以下、本紙2021年10月14日号1面）
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