中国300mm半導体、レガシー工場投資が活発化
90nmクラスの需要増加、200mm中古装置の入手難で
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長江ストレージ（YMTC）、イノトロン、晋華集成電路（JHICC）による3大メモリープロジェクトやローカルファンドリー、海外IDMなどの工場新増設が相次いでいるため、中国で2018年に稼働・計画中の半導体300mm工場は20件にものぼる。その約3分の1が90nmクラスの成熟したプロセス技術を駆使する「レガシー300mm工場」への投資だ。200mm中古装置の入手が困難なため、300mmの採用へ舵を切る機運が高まった。これらの計画を合計すると、22年ごろまでに月産能力は20万枚以上に拡大するとみられる。
300mmレガシー工場の案件が中国で増えているのには、大きく3つの理由が考えられる。1つは、中国でインフラ用IoT機器の需要が拡大しているからだ。300mmレガシー工場は、主にCMOSイメージセンサー（CIS）や指紋センサー、エンベデッドフラッシュ（eフラッシュ）、パワー系半導体などをターゲットとしている。
中国は20年までに公共安全監視システムの全域カバーと全ネットワーク対応化という目標を掲げている。20年に監視カメラは6億台以上に増加すると予測される。中国人だけで年間5億人以上が海外渡航する時代になり、出入国手続きを短縮するため顔認証や指紋認証機能を搭載した自動化ゲートの設置が急拡大している。300mmレガシー工場は、これらに必要なCISや指紋センサーの製造に適している。
（以下、本紙2018年8月30日号1面）
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