電子デバイス産業新聞(半導体産業新聞)
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ミニマルファブ ハンドブック
~ミニマル開発の今が分かる・すべてが分かる!~
○ミニマルファブ構想を必要とする背景を詳細に分析
○ミニマルファブとは何か。そのコンセプトを分かりやすく詳述
体裁・頁数:A4変形判、100頁
発刊日:2013年12月4日
ISBN:978-4-88353-218-6 C3055\9000E
定価 9,000円 + 税
詳細

■発刊趣旨とご購入のご案内

 「ミニマルファブ」は、0.5インチのウエハー(=1チップ)、30㎝幅という小型の装置群を用いることで、1ライン当たりの投資額をメガファブの1000分の1程度に低減できる、半導体製造の新コンセプト・生産技術。アプリケーションとしては、多品種少量ニーズという〝巨大市場〟に柔軟に対応する技術として大きな注目を集めている。
 技術開発については、12年5月に設立された「ミニマルファブ技術研究組合」を中心に推進中。24企業+産総研が参画し、各種装置技術の開発が進められている。
 本書では、「この一冊でミニマルファブのすべてがわかる」をコンセプトに、ミニマル構想の基本理念、概要、全体的な開発ロードマップを分かりやすく解説する。
 第3章では、同技術組合に参画している主要企業に本紙特別取材班が直接話を伺い、装置開発の現状・今後のロードマップを明らかにしている。

■内容構成

◆フォトレビュー
◆第1章 岐路に立つ半導体産業
  ~産業の変遷とミニマルファブが必要とされる背景~
・岐路に立つ国内半導体産業
◆第2章 解説!ミニマルファブ構想
  ~半導体業界にどのようなインパクトがあり、何をもたらすのか~
・解説!ミニマルファブ構想
・プロジェクトリーダー 原 史朗氏に聞く!
◆第3章 ミニマル装置・部材開発の最新動向
・ミニマル装置・部材開発の最新動向
掲載社
岡本硝子 / 片桐エンジニアリング / 黒田精工 / 光洋サーモシステム / 坂口電熱 / 三明 / サンヨー / ジーダット / 誠南工業 / 大成建設 / タツモ / デザインネットワーク / TOOL / ピーエムティー / フジキン / 不二越機械工業 / プレテック / 堀場エステック / 横河ソリューションサービス / 米倉製作所 / リソテックジャパン / ロジック・リサーチ
◆第4章 産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会の会員企業一覧
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