■発刊趣旨とご購入のご案内

　「ミニマルファブ」は、0.5インチのウエハー（＝１チップ）、30㎝幅という小型の装置群を用いることで、1ライン当たりの投資額をメガファブの1000分の1程度に低減できる、半導体製造の新コンセプト・生産技術。アプリケーションとしては、多品種少量ニーズという〝巨大市場〟に柔軟に対応する技術として大きな注目を集めている。
　技術開発については、12年5月に設立された「ミニマルファブ技術研究組合」を中心に推進中。24企業＋産総研が参画し、各種装置技術の開発が進められている。
　本書では、「この一冊でミニマルファブのすべてがわかる」をコンセプトに、ミニマル構想の基本理念、概要、全体的な開発ロードマップを分かりやすく解説する。
　第3章では、同技術組合に参画している主要企業に本紙特別取材班が直接話を伺い、装置開発の現状・今後のロードマップを明らかにしている。

---

■内容構成